有利。

因为光催化技术可以利用光能激发半导体表面电子，产生电荷对并促进化学反应，具有高效、无污染和可控性等优点，因此可以在芯片制造中用于表面修饰、表面清洗、电极制备等方面，提高芯片制造的质量和效率。

此外，光催化还可以与其他技术相结合，例如与等离子体技术结合可以实现芯片表面的纳米加工，与电化学技术结合可以实现芯片表面的微观调控，这些都对芯片制造有很大的帮助。

因此，光催化技术在芯片制造中具有广泛应用前景，有助于提高芯片制造的质量和效率。